เป็นหน่วยงานในภูมิภาคของ กรมส่งเสริมอุตสาหกรรม กระทรวงอุตสาหกรรม จัดตั้งขึ้น เมื่อปี พ.ศ.2515 โดยใช้ชื่อหน่วยงานว่า "สถาบันบริการอุตสาหกรรมภาคเหนือ" ต่อมาในปี พ.ศ.2518 ได้ยกฐานะเป็น "กองบริการอุตสาหกรรมภาคเหนือ" รับผิดชอบดูแลในเขตพื้นที่ภาคเหนือทั้ง 17 จังหวัด และในปี พ.ศ.2526 ตามพระราชกฤษฎีกาแบ่งส่วนราชการ ในกรมส่งเสริมอุตสาหกรรม จึงเปลี่ยนชื่อเป็น "ศูนย์ส่งเสริมอุตสาหกรรมภาคเหนือ" จนกระทั่ง ปี พ.ศ.2538 ได้มีการปรับปรุงโครงสร้างหน่วยงาน และแบ่งพื้นที่รับผิดชอบเฉพาะภาคเหนือตอนบน 8 จังหวัด ได้แก่ เชียงใหม่ ลำพูน ลำปาง เชียงราย พะเยา แพร่ น่าน แม่ฮ่องสอน โดยเปลี่ยนชื่อเป็น "ศูนย์ส่งเสริมอุตสาหกรรมภาคที่ 1" จนถึงปัจจุบัน